SecsGem通訊軟件
SECS是Semiconductor Equipment Communication Standard的簡稱,GEM 是Generic Equipment Model的簡稱。SecsGem協議被認為是從工具到主機通信的最佳方案通訊,因此在六寸以上的晶圓制造工廠它是常見的通訊標準。
為了分析和統計設備的生產有效性,派生出了SEMI標準E10,該標準定義了六個設備狀態:生產、待機、工程、計劃停機、非計劃停機和無計劃。這樣一個單一的軟件工具將使用現有的固定資產設備增加生產力。
無錫華意興航電子科技有限公司應客戶的要求,開發出了HOST和Equipment SecsGem兩種通訊軟件。
HOST SecsGem軟件能完成主要的通訊功能:
1.建立通訊(Establish Communications Request):S1F1、S1F13
2.狀態變量查詢(Variable query):S1F3
3.設備菜單查詢(Current PPID Request):S7F19
4.下載菜單(PPSelect)、遠程控制(START/STOP/RESET):S2F41
Equipment軟件的功能由兩部分組成:
第一部分是負責采集Omron PLC控制系統的狀態數據、收集報警和事件信息、下載菜單參數和發送控制命令等。基于PC-Base的程序與Omron PLC通過C-Mode 協議(Command)由RS232進行通訊。
第二部分是負責與HOST建立通訊、回答HOST的查詢與請求、執行HOST的遠程控制命令和向HOST上報機臺的報警與事件。Equipment與HOST是通過TCP/IP協議執行SecsGem標準進行通訊的。